国产高端射频电源制造商

精密射频
自主可控
工业级可靠

等离子电源、微波电源、微波发生器—— 德芯科技深耕射频领域十余年,产品稳定性与一致性达到国际主流水准,打破进口依赖。

13.56MHz
标准射频频率
10+
年行业深耕
98%
转换效率
德芯 · 射频分析仪
实时采集中
CH1 13.56MHz
CH2 2.45GHz
CH3 功率

覆盖全频段
射频电源解决方案

从低频等离子到高频微波,德芯科技提供完整的射频功率产品谱系,满足半导体、工业、医疗等行业需求。

01
射频电源
13.56MHz 及 40.68MHz 工业标准频率,适用于等离子刻蚀、镀膜等精密工艺。
  • 功率范围 50W–30kW
  • 频率稳定度 ±50ppm
  • 转换效率 ≥95%
  • 阻抗自动匹配
02
等离子电源
专为等离子体放电设计,高压点火、稳弧一体,响应速度快,等离子态维持稳定。
  • 点火电压可调
  • 弧光检测保护
  • 适配多腔体结构
  • 支持远程控制
03
微波电源
2.45GHz 固态微波电源,全固态设计无运动部件,体积紧凑,适用于工业加热和等离子激发。
  • 全固态无磁控管
  • 功率 100W–6kW
  • 数字相位控制
  • MTBF >50000h
04
微波发生器
高稳定性微波信号源,频率覆盖 915MHz 至 5.8GHz,支持脉冲调制与连续波输出模式。
  • 频率精度 ±1MHz
  • 脉冲宽度 1μs–CW
  • 幅度精确可控
  • 以太网/RS485接口

自研核心算法
全链路国产替代

  • 全数字化控制架构

    自主研发 FPGA 控制核心,采样率达 10MSPS,毫秒级响应负载变化,有效抑制弧光故障。

  • 宽范围阻抗匹配

    内置智能匹配网络,无需外置匹配器,VSWR 长时保持在 1.2 以内,降低设备成本与维护复杂度。

  • 工业级热设计

    模块化液冷散热结构,长时满功率运行温升低于 35°C,可靠性经 8000 小时连续老化验证。

  • 开放式通信接口

    标配以太网、RS-485、模拟量控制接口,兼容主流 PLC 与 SCADA 系统,快速集成生产线。

代表性参数对比 德芯 DX-RF3000 系列
参数 行业均值 德芯指标
转换效率≥90%≥98%
频率稳定度±200ppm±50ppm
弧光响应时间<5ms<0.5ms
MTBF30,000h50,000h
功率调节精度±2%±0.5%
谐波失真(THD)<3%<0.8%

广泛服务于
精密工业与科研场景

⬡

半导体制造

CVD、PVD、干刻工艺中的等离子体激发与维持,稳定的射频功率直接影响薄膜均匀性与刻蚀精度。

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工业微波加热

食品、化工、陶瓷等材料的微波烧结与干燥,固态微波源比磁控管寿命提升 5 倍以上。

⟁

表面处理

等离子清洗、表面活化、类金刚石薄膜沉积,精确可控的射频功率确保处理效果一致性。

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医疗设备

医用等离子手术刀、消毒设备及 MRI 配套射频放大器,严格满足医疗级电磁兼容标准。

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科研与检测

质谱仪、加速器、等离子体物理实验平台,支持定制频率与脉冲波形以满足科研严苛要求。

▦

新能源装备

晶硅太阳能电池 PECVD 镀膜、钙钛矿薄膜制备及氢燃料电池极板表面处理工艺。

以数字说话

10+
年射频领域深耕
从工业级到科研级持续迭代
200+
累计服务客户
覆盖半导体、能源、医疗行业
98%
产品转换效率
达到国际同类产品顶尖水准
24h
全天技术支持
工程师驻场 + 远程响应双保障

获取技术方案
与定制报价

告诉我们您的功率需求、应用场景和接口要求,德芯工程师团队将在一个工作日内响应。

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公司地址

成都市高新区天府软件园 × 号楼

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